该气相沉积设备主要用于关键器件表面涂层的制备，而温度是影响气相沉积涂层质量的关键参数，目前常规气相沉积设备的使用温度最高只有2000℃，本项目开发的气相沉积设备使用温度可达到2500℃，将会大大改善气相沉积涂层的质量，从而实现器件性能的提升。
可达到如下性能：
（1）沉积室温度：最高2600℃，2500℃下可持续工作1小时以上，升降温速率1℃/min可控，200~3000℃可测；
（2）沉积室压力：300~3000Pa稳定可控；
（3）沉积室尺寸：直径300mm，高600mm；
（4）气体种类：Ar、N2、CH4/C3H8，要求流量可控，下进上出；
（5）物料下进下出，装卸方便；
（6）报警保护：缺水、短路、过流、过压报警保护；
（7）环保要求：配有气体过滤系统，最终排出尾气达到国家环保要求。
