2300℃高真空电阻炉专门设计应用于氮化硅材料在2300°以下进行高温热处理之用。
型号 |
NTG-DZL-100KW |
NTG-DZL-160W |
NTG-DZL-270W |
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工作尺寸 (高*宽*长) |
mm |
300*300*600 |
400*400*800 |
500*500*1600 |
加热方式 |
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石墨杆笼式加热 |
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高温区容积 |
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54 |
128 |
400 |
装载量 |
g |
高温区容积*产品密度(g/cm)*10003注:1L=1000cm3; |
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输入电压 |
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380V±10%,50HZ/60HZ 三相五线 |
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炉型结构 |
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卧式 |
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电源功率 |
HZ |
100 |
160 |
270 |
最高使用温度 |
℃ |
2300 |
2300 |
2300 |
常用工作温度 |
℃ |
2200 |
2200 |
2200 |
真空度 |
Pa |
6.6X10-4 |
6.6X10-4 |
6.6X10-4 |
温度均匀性 |
℃ |
±5 |
±5 |
±5 |
工作环境 |
\ |
真空Ar/N2气氛环境(微正压) |
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