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化学气相沉积炉

类型:感应炉

应用:卧式化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理

  • 概述
  • 规格
  • 特点


    高温气相沉积设备主要用于关键器件表面涂层的制备,而温度是影响气相沉积涂层质量的关键参数,目前常规气相沉积设备的使用温度最高只有2000℃,本项目开发的气相沉积设备使用温度可达到2500℃

 

型号

功率

温度

Φ300*600

100KW

2500

Φ500*1000

200KW

2500

Φ800*2000

400KW

2500

Φ1500*2500

1000KW

2500

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