- 概述
- 规格
- 特点
氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门,高温区加热,低温区气相沉积收集,适用于氧化亚硅等材料的制备及收集。氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉有可控硅超载、短路和误触发,过压保护,可在真空或惰性气体环境下工作。
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