氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉

型号

额定功率Kw

炉膛尺寸mm*mm

收集区容积L

最高温度℃

腔体数

控温精度

极限真空度

NTG-CJL-40W

40

Φ400*500

31.4

左边1400、右边1100

2

±1℃

10^-3

NTG-CJL-60W

60

Φ500*1050

103

左边1400、右边1100

2

±1℃

10^-3

NTG-CJL-120W

120

Φ600*2000

282.6

左边1400、右边1100

2

±1℃

10^-3