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化学气相沉积炉

类型:感应炉

应用:卧式化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理

  • 概述
  • 规格
  • 特点

 

    高温气相沉积设备主要用于关键器件表面涂层的制备,而温度是影响气相沉积涂层质量的关键参数,目前常规气相沉积设备的使用温度最高只有2000℃,本项目开发的气相沉积设备使用温度可达到2500℃,将会大大改善气相沉积涂层的质量,从而实现器件性能的提升。

 

型号

功率

温度

Φ300*600

100KW

2500°

Φ500*1000

200KW

2500°

Φ800*2000

400KW

2500°

Φ1500*2500

1000KW

2500°

 主要技术指标及要求:

(1)   沉积室温度:最高2600℃,2500℃下可持续工作1小时以上,升降温速率1/min可控,200~3000℃可测;

(2)   沉积室压力:300~3000Pa稳定可控;

(3)   沉积室尺寸:直径300mm,高600mm

(4)   气体种类:ArN2CH4/C3H8,要求流量可控,下进上出;

(5)   物料下进下出,装卸方便;

(6)   报警保护:缺水、短路、过流、过压报警保护;

(7)   环保要求:配有气体过滤系统,最终排出尾气达到国家环保要求。

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