氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉，高温区加热，低温区气相沉积收集，应用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。
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型号 |
额定功率Kw |
炉膛尺寸mm*mm |
收集区容积L |
最高温度℃ |
腔体数 |
控温精度 |
极限真空度 |
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NTG-CJL-40W |
40 |
Φ400*500 |
31.4 |
左边1400、右边1100 |
2 |
±1℃ |
10-3 |
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NTG-CJL-60W |
60 |
Φ500*1050 |
103 |
左边1400、右边1100 |
2 |
±1℃ |
10-3 |
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NTG-CJL-120W |
120 |
Φ600*2000 |
282.6 |
左边1400、右边1100 |
2 |
±1℃ |
10-3 |
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